新材料(liao)在線^®

《大國之(zhi)材》原創文章(zhang)，轉載請聯系(xi)微信：EILIG2014

新材料(liào)在線 ID：xincailiaozaixian

圖片：受(shòu)訪人提供、圖(tú)蟲創意

早在(zai)1842年，科學家格(gé)波夫就在實(shi)驗室中發現(xian)了陰極濺射(she)現象，但⁉️由于(yu)人們對濺射(shè)技術缺乏深(shen)入了解，商業(yè)化的磁控濺(jiàn)射設備直到(dào)1970年才逐漸應(ying)用于實驗室(shi)和☔小型生産(chǎn)。

20世紀80年代以(yi)後，随着以集(jí)成電路、信息(xi)存儲、液晶顯(xian)示👈器、光存儲(chǔ)器、電子控制(zhi)器為主的電(diàn)子與信息産(chan)業開始進入(rù)高速發📐展時(shi)期，磁控濺射(she)技術才從實(shi)驗室應用真(zhen)正進入工業(yè)化規模生産(chan)應用領域。

然(ran)而，直到21世紀(jì)初，中國的靶(ba)材仍高度依(yi)賴進口，國内(nèi)竟無一♈家企(qi)業能夠提供(gòng)高純金屬靶(bǎ)材，市場被日(rì)立⁉️金屬、TDK等海(hai)外企✉️業完全(quan)壟斷。

彼時，剛(gāng)剛經曆轉企(qǐ)改制的有研(yán)集團正在尋(xun)找産業化落(luo)地的項目，經(jing)過一年多時(shi)間的調研，有(you)研團隊将目(mu)标對準了高(gāo)純金屬靶材(cái)。

據全程參與(yǔ)研發的現任(ren)有研新材總(zong)經理王興權(quán)回憶，當時業(ye)内對有研的(de)選擇反響并(bing)不積極，很多(duō)人根本不🐇相(xiàng)信中國人還(hái)能生産半導(dǎo)體、集成電路(lu)用靶材。

2005年，剛(gāng)剛進入靶材(cái)領域的有研(yan)團隊對靶材(cái)技術的認識(shí)如同一張白(bái)紙，全憑信念(nian)支撐。

三年以(yǐ)後，有研的靶(ba)材進入市場(chǎng)，并獲得客戶(hu)的基本認可(ke)，産🌐品開始走(zou)向正軌。

2012年，有(you)研成為批進(jin)入國家重大(da)專項的企業(ye)，參與了02專項(xiang)（集🏃‍♂️成電🤟路）後(hòu)期的所有項(xiang)目。在項目的(de)助力下，憑借(jie)對金屬材料(liao)的深刻理解(jiě)和材料學的(de)長期積累，有(you)研成功突破(po)了集成電路(lu)靶材從材料(liào)到制品的全(quán)套技術，讓國(guó)産高純金屬(shǔ)🈲靶材達到了(le)國際先🌈進水(shui)平，并擁☂️有全(quán)部自主知識(shi)産權。

用王興(xìng)權的話說：“現(xian)在的有研可(kě)以跟國際上(shàng)任何微電子(zǐ)材料大公司(sī)平等的進行(hang)市場對話和(he)技術對話。”

01

打(da)破國外靶材(cái)主導地位指(zhǐ)日可待

《大國(guó)之材》：您覺得(de)我們國内的(de)高純金屬靶(bǎ)材目前的發(fā)展水平處于(yú)㊙️什麼樣的位(wèi)置？我們存在(zài)哪些發展痛(tòng)點？

王興權：我(wo)個人認為在(zai)微電子靶材(cai)這塊，中國應(ying)該屬于第二(er)梯✊隊，梯隊仍(reng)然是日本的(de)GX公司和美國(guo)的霍尼爾🈚等(děng)公🈲司。在過去(qu)十幾年裡，中(zhong)國的微電子(zi)靶材從零開(kāi)始，能發展到(dào)目前的水平(ping)，應🔆該說成♊果(guo)是非常顯著(zhe)的。

當前的行(háng)業痛點問題(tí)已經不明顯(xiǎn)了，國内的微(wei)電🏃‍♂️子靶⛱️材基(ji)本已經與國(guo)際領先企業(ye)處于同一競(jing)争水平。原來(lái)談到痛點，可(kě)以✨說渾身都(dōu)是痛，關鍵指(zhi)标🈲不清、核心(xīn)技術不通、市(shì)場認可❗度低(dī)、人才隊伍缺(quē)乏、原材料受(shou)制于人等等(děng)，都是我們曾(ceng)經經曆的痛(tòng)點。

但是國内(nèi)的微電子靶(ba)材發展到今(jīn)天，原來的錐(zhuī)心之痛已經(jing)不存在了。但(dàn)是，我們畢竟(jing)處于第二梯(ti)隊，更全面的(de)描述當前國(guó)内微電子靶(ba)材的發展水(shuǐ)平，我認為是(shi)多數跟從，部(bù)🙇🏻分平起，個别(bie)超越。

《大國之(zhī)材》：有研新材(cái)近幾年高純(chun)金屬靶材的(de)市場營收增(zeng)顯著，您分析(xī)主要是哪些(xie)原因？

王興權(quan)：我覺得高純(chún)金屬靶材的(de)業績增長主(zhǔ)要取決于三(sān)個♋因素。首先(xian)是大勢，在過(guò)去的20年裡邊(bian)，中國的集成(cheng)電子領域是(shi)一個穩步增(zēng)長的發展階(jie)段，中芯國際(jì)等優勢企業(ye)像雨後春筍(sun)般湧現出來(lái)。

全球的微電(diàn)子領域，年平(píng)均的發展速(sù)度大約為4%到(dao)5%，但是⛷️在過去(qù)的20年内，中國(guo)微電子領域(yu)一直都保持(chí)在13%到14%的發展(zhǎn)水平。沒有微(wēi)電子領域的(de)快速發展，就(jiù)💔不可能有相(xiàng)關的領域🏃🏻裝(zhuang)備和材料的(de)✔️進步。

其次，有(you)研科技集團(tuán)（原有色金屬(shǔ)研究總院）主(zhu)要從事有色(sè)金屬領域的(de)共性技術開(kai)發，經過六十(shí)多年💋的積澱(diàn)，我們擁有大(da)量金屬材料(liao)制備和加工(gong)技術，對金屬(shu)🏃🏻‍♂️材料的理解(jiě)非常透徹💔。這(zhè)些積累為我(wǒ)們在微電子(zi)材🌂料領域的(de)技術開發和(he)提升提供了(le)巨大支撐。

當(dang)然，關鍵的一(yi)點，是有研人(ren)的努力和堅(jiān)持，是一種産(chǎn)業情懷或者(zhě)說國家情懷(huai)，一種我們中(zhōng)國人必須🔴做(zuo)得出、做🐅得好(hǎo)的勁頭。

在我(wǒ)們剛剛進入(rù)這個領域的(de)時候，範圍内(nèi)沒有人做微(wēi)電子靶材，甚(shen)至做集成電(dian)路相關材料(liao)的企業都非(fei)常少，那時候(hòu)靶材被霍尼(ní)韋爾、東曹、威(wei)廉姆斯、優美(měi)科、日礦等國(guó)外企業壟斷(duàn)，中國當時也(yě)有幾家公司(si)和科㊙️研機構(gòu)想進入這個(gè)領域，但受制(zhì)于技術門檻(kan)和市場門檻(kan)，有些單位進(jìn)來又退⛹🏻‍♀️出了(le)，有些單💚位發(fa)展止步🌈不前(qián)，國産靶材行(hang)業發展起起(qǐ)伏伏。在❄️這中(zhōng)間，有研新材(cai)得益于📐長期(qi)的堅持和持(chi)續投入。

當然(rán)，國家的重視(shi)和支持為我(wo)們的發展提(ti)供了強大支(zhi)👣撐。

《大國之材(cai)》：2018年靶材市場(chang)規模的增速(sù)達到30%，在半導(dao)體方面，增速(su)達到60%。随着5G應(ying)用趨勢的到(dào)來，微電子靶(bǎ)材的格局會(huì)發生哪些變(bian)化？

王興權：我(wo)認為打破國(guó)外企業占主(zhu)體的局面，指(zhǐ)日可待。現在(zai)國内的靶材(cai)企業在國際(ji)範圍内競争(zhēng)，從技術到管(guan)理再到市場(chang)占有率，已經(jīng)沒有明顯的(de)劣勢，尤其是(shì)在國内市場(chǎng)方面，這幾年(nian)全球集成電(diàn)路的産業布(bù)局向中國大(dà)陸在轉移。從(cong)區域發展來(lai)看，中國大陸(lù)的發展速度(du)會遠遠高于(yú)歐美、東南亞(yà)、日本、中國台(tai)灣等其他地(dì)區。在市場交(jiao)互和本地化(huà)服務方面，國(guó)内企業具備(bèi)獨特的地緣(yuán)優勢。

但值得(dé)注意的是，從(cong)新品開發的(de)角度來看，目(mù)前絕🌐大多數(shu)新産✍️品仍出(chū)自國外企業(yè)，尤其是日本(běn)的JX公司，占有(yǒu)靶材新品約(yuē)60%的份🤩額，一直(zhi)保持着技術(shu)原發性優勢(shì)，在未來市場(chang)中自然也會(hui)居于主導地(di)位，因此我們(men)在一段時間(jiān)内可能還💰是(shì)跟從的狀态(tài)。

但新技術的(de)引入，尤其是(shi)5G技術的普及(jí)将是一個非(fēi)常好的契機(ji)。随着集成電(dian)路的線寬越(yuè)來越窄，對材(cái)料提出了更(gèng)高的需求，原(yuán)來的材料組(zǔ)分、純度、組織(zhi)結構已不足(zu)以支撐集成(cheng)電路技術指(zhǐ)标的躍升。有(you)研新材對材(cai)料的理解是(shì)非常深的，對(duì)材料元素的(de)控制、材料行(hang)為控制和組(zu)織結構控制(zhi)是我們的強(qiang)項。這就給了(le)我們一次突(tū)破老産品的(de)固定格局，大(dà)家站在同一(yī)起跑📱線上的(de)機會。在新🔆産(chan)品框架下，我(wo)們的材料技(ji)術優勢🔞将發(fā)揮得更淋漓(lí)盡緻。

另外，随(suí)着電子信息(xī)技術的發展(zhǎn)和應用領域(yu)的拓寬，芯片(pian)的特殊功能(neng)性需求越來(lái)越高，比如未(wei)來一些芯🏃‍♀️片(piàn)制程中對材(cai)🌐料的磁性能(neng)、熱效應、相變(bian)反應、壓電效(xiao)應等方面提(ti)出特殊需要(yao)，很可🐕能已超(chao)越了單質材(cai)料的物理極(jí)限，這時就需(xu)要靠特種合(he)金材料、複合(hé)材料或不同(tong)材料的複合(hé)工藝才能滿(mǎn)足性能需求(qiú)，這就涉及到(dào)材料性質🌂與(yu)功能的關聯(lian)，涉及到材料(liào)的設計。這時(shi)，誰在材料技(ji)術方面積澱(diàn)深厚，誰在功(gōng)能材料開發(fā)🛀方面能力強(qiáng)，誰就能抓住(zhu)微電子産業(ye)的發展機遇(yu)，誰就能成💘為(wei)未來的領跑(pǎo)者。

有研新材(cái)辦公樓

02

“電磁(cí)光醫”協同發(fā)展

《大國之材(cai)》：有研新材目(mù)前在新材料(liao)領域所處的(de)一個行業地(di)位如何？

王興(xing)權：談到在新(xīn)材料領域的(de)行業地位，由(yóu)于有研新材(cai)的産🏃🏻業覆蓋(gài)領域比較廣(guǎng)，需要細分來(lai)說，總結起來(lái)我🏃‍♀️們叫“電磁(cí)光醫”四大闆(pan)塊引領發展(zhan)。

在微電子薄(báo)膜材料領域(yu)，目前我們的(de)全球市場占(zhan)有率🛀🏻大概🔆5%，數(shu)字并不大，但(dàn)這個5%的内涵(hán)很重要，可以(yǐ)分三個維度(dù)來看。

一是從(cong)市場維度來(lai)看，我們目前(qian)以國内客戶(hù)為主，國内的(de)客戶覆蓋率(lǜ)接近100%，也就是(shi)說國内幾乎(hū)所有微電子(zǐ)企業都會用(yòng)到有研新材(cai)的材料。

二是(shi)從産品覆蓋(gài)維度來看，我(wǒ)們自己内部(bu)一種說法叫(jiao)“全餐”。隻要是(shì)微電子領域(yu)用的金屬薄(bao)膜材料，無論(lùn)是濺射靶材(cái)還是蒸👅發材(cái)料，所有的材(cái)料品種、所有(yǒu)的産品型号(hào)有研新材都(dou)有。

還有一個(gè)重要的維度(dù)，叫垂直一體(ti)化。這一點在(zài)全球範圍内(nei)💚，隻有日本的(de)JX公司和美國(guó)的霍尼韋爾(er)能夠做‼️得到(dao)（這兩☁️家也沒(mei)全做到）。我們(men)不僅僅生産(chǎn)靶🌏材和蒸發(fa)材料，還可以(yǐ)自己生産制(zhi)作靶材的微(wēi)電子級原材(cai)料， 比如說🈚微(wēi)電子靶材用(yong)的銅材，我們(men)能夠把市場(chang)上随處可得(dé)的㊙️普通的銅(tong)材，提純到“六(liù)個🚩九”的電子(zi)級超高純銅(tong)。在微電子領(lǐng)域，能夠做到(dào)原材料不受(shòu)制于人💃🏻，對于(yu)企業的存活(huo)和發展至關(guān)重要！

在微電(diàn)子薄膜材料(liào)領域，有研新(xīn)材已經是國(guo)内行業☔龍頭(tou)，技術優勢、人(rén)才優勢、市場(chǎng)優勢已經形(xíng)成。

在稀土領(ling)域，有研新材(cái)應該說是範(fan)圍内稀土技(jì)術能力強全(quán)面🌂的企業。有(you)研新材具備(bèi)從稀土選礦(kuàng)、稀土分💜離，稀(xī)土金屬制備(bei)的🔞全流程原(yuán)創技術。現在(zài)全球範圍内(nèi)70%的稀土選冶(ye)都源于✌️我們(men)的技術。目前(qián)有研新材是(shì)全球能生産(chǎn)多種超高純(chun)稀土👈金屬的(de)企業。我們的(de)稀土發光材(cai)料、稀土磁性(xing)材😍料技術也(yě)具備國内領(lǐng)先水平。

在紅(hong)外光學材料(liao)方面，有研一(yi)直掌握着行(háng)業引領性技(jì)術，中國🌂的根(gen)鍺單晶就出(chu)自我們之手(shou)，目前有研新(xīn)🏃‍♀️材是國内大(da)的紅外鍺單(dān)晶和二六族(zú)晶體生産企(qi)業。

在生物醫(yī)用材料方面(mian)，中國根牙弓(gōng)絲、支食道支(zhi)架、支膽道支(zhī)架⚽、支前列腺(xian)支架等等，都(dou)是由我們出(chu)品💚的。

總而言(yan)之，有研新材(cai)是一家市場(chǎng)導向、技術先(xiān)導型企業，在(zai)♈材料領域具(ju)有強大的技(jì)術創新和技(jì)術轉化能力(lì)，使✔️企業在發(fa)展中始終保(bǎo)持旺盛的活(huó)力和動力，為(wei)企業提供了(le)廣🚶‍♀️闊的發展(zhǎn)空間。

《大國之(zhī)材》：公司對未(wèi)來市場的布(bu)局，有哪些新(xīn)的舉措？

王興(xing)權：我們從現(xian)在的戰略維(wei)度上來看，還(hái)是圍繞“電磁(cí)光醫”這四個(ge)闆塊，這四個(gè)闆塊有不同(tóng)的定位，其資(zi)源💯配置㊙️方式(shì)和發展模👌式(shi)也不同。

電子(zǐ)薄膜材料闆(pan)塊是有研新(xīn)材的核心業(ye)務闆塊，也是(shì)未來重點發(fā)展的産業領(lǐng)域。公司将持(chi)續加大在這(zhè)一領域的資(zi)源配置力度(du)，不斷優化産(chǎn)業布局，壯大(da)産業規模，并(bing)終成為全球(qiú)領先的微電(dian)子薄膜材料(liao)和相關服務(wù)的提供者。

稀(xī)土領域，我們(men)将大力推動(dòng)稀土綠色清(qing)潔選冶技術(shu)，提供行業服(fu)務，助推我國(guó)稀土産業的(de)良性發展，同(tóng)時充分發揮(huī)全産業鍊技(jì)術優勢，發展(zhan)特種磁性材(cai)料産業。

特種(zhong)光學材料領(ling)域，繼續保持(chi)行業領頭羊(yáng)的位置，充分(fèn)⭐發揮💯核心材(cái)料優勢，适度(du)延伸産業鍊(liàn)。

生物醫用領(lǐng)域，走市場化(huà)道路，引入優(you)質的資本方(fang)和資源方，使(shi)其具有高度(du)市場活力和(he)企業活力，推(tuī)動快速發展(zhǎn)。